硅片自动排片机

　　◆管路、水过滤器及阀门等管件均采用304不锈钢材料；

　　◆外壳均采用304不锈钢材料制作，表面磨光处理。外观简洁、流畅；

　　◆工作机器支架及硅片盒夹具均采用耐腐蚀、经特殊亚光电化学处理的不锈钢材料；

　　◆手动调整，自动排片（需人工上料）；

　　◆125mm～156mm硅片通用，节拍40～60片/min；

　　◆硅片自动排片机全封闭设计，美观大方；一体式组合脚轮，定位、移动两便；

　　◆硅片自动排片机配置：磁力驱动循环水泵，水箱总容积0.3m?,硅片水床滑台，滚珠丝杆传动三工位升降花篮座，三菱高分辨率MR-J2S系列伺服电机，三菱可编程序控制器、Autonics传感器，eao按钮；

　　1．产品执行标准：符合国家相关工业技术标准。

　　2．快换花篮治具，适应随时更换产品. 水床滑台、水流助推提高排片可靠性。

　　3．花篮就位检测，排片滞留报警；可防止碎片和放发生故障。

　　4. 电器传动系统采用PLC可编程控制器及高分辨率伺服电机, 机械传动采用直线轴承滑块、直线轴及滚珠丝杆副、结构简洁、运动精度高。