降低肖特基二极管反向漏电流的方法包括:
1. 选择合适的肖特基二极管:选择具有较低反向饱和漏电流IR的二极管,以减少功耗。
2. 优化制造工艺:例如,在n+型4H-SiC衬底背面沉积欧姆接触金属层,并进行快速热退火处理,以降低漏电流。
3. 改进结构设计:通过在n-型SiC外延层正面沉积肖特基金属和正面接触金属层,形成分隔的金属图形,以降低漏电流。
4. 采用新型材料:研究使用新型半导体材料,如碳化硅,以提高肖特基二极管的性能。
5. 表面钝化处理:对肖特基和欧姆接触之间的表面区域进行钝化,以减少泄漏电流。
这些方法有助于减小反向阻断损耗,提高肖特基二极管的效率和稳定性。